1.係統組成

該小型高純氣體(ti) 氣驅增壓設備來用兩(liang) 級增壓的工作方式，係統由控製部分和工作部分組成。工作部分可分為(wei) :低壓工作區、一-級高壓工作區和二級高壓工作區,各工作區分別由氣缸體(ti) 氣缸腔、活塞和密封組件等構成，各工作區之間由驅動軸相連,以傳(chuan) 遞壓力和實現壓強的遞增。密封組件用以實現各工作區間的氣密和自潤滑功能;控製部分由驅動壓縮氣體(ti) 自動換向機構發熱部件冷卻係統、控製高壓缸排氣的單向氣閥等組成，主要實現設備的散熱降溫、往複換向、壓強控製和過壓保護,實現設備的安全可靠 連續增壓工作。

2.工藝流程

（1）一級增壓：增壓設備開始工作後,驅動壓縮氣體(ti) 通過氣控閥進人低壓缸右氣腔,同時打開低壓缸左氣腔排氣口(此時該腔與(yu) 大氣相通)。驅動壓縮氣體(ti) 與(yu) 空氣分別作用於(yu) 低壓活塞兩(liang) 側(ce) ,其壓強差會(hui) 在活塞兩(liang) 則產(chan) 生壓力差，由於(yu) 驅動壓縮氣體(ti) 的壓強大於(yu) 空氣的壓強,從(cong) 而推動低壓活塞在低壓缸內(nei) 向左移動,並帶動驅動軸-起移動。與(yu) 驅動軸相連的一級高壓活塞同時向左移動,致使一級高壓腔體(ti) 積逐漸減小,腔內(nei) 的被增高純氣體(ti) 壓強也逐漸增高,當其壓強高於(yu) 設定值時，排氣單向閥打開，一級壓縮高純氣體(ti) 進入二級高壓氣缸內(nei) ,當低壓活塞運行至最左側(ce) 時，一級增壓完成。換向機構工作,開始二級增壓。

（2）二級增壓：驅動壓縮氣體(ti) 在換向機構的控製下自動換向,向低壓缸左腔內(nei) 充入驅動氣體(ti) ,同時打開低壓缸右氣腔排氣口,此時右氣腔內(nei) 的做功後驅動壓縮氣體(ti) 從(cong) 進氣口排出，通過相應管路引至相關(guan) 發熱部件和散熱翼板,對其進行散熱降溫。在驅動壓縮氣體(ti) 作用下，低壓缸活塞帶動傳(chuan) 動軸向右運動,開始二級增壓。同時一級增壓缸進氣口打開，吸入被增壓高純氣體(ti) 。當低壓缸活塞運行至最右端時,二級增壓結束完成-一個(ge) 工作循環。

（3）連續功能實現：在驅動壓縮氣體(ti) 自動換向機構和控製高壓氣缸排氣的單向氣閥的聯合控製下，增壓設備的低壓活塞帶動傳(chuan) 動軸,能夠實現自動換向、連續往複運動,從(cong) 而實現額定高壓高純氣體(ti) 的連續輸出,滿足用戶需求。

（4）壓強控製和過壓保護：設備具有輸出氣體(ti) 壓強控製和係統過壓保護功能。當高壓氣體(ti) 儲(chu) 氣罐或其他用氣設備氣體(ti) 壓強達到設定值後,控製二級高壓氣缸排氣的單向氣閥將輸氣管路切斷，停止供氣。當設備停機時，單向氣閥同樣可將輸氣管路切斷，防止高壓氣體(ti) 儲(chu) 氣罐等向設備反向供氣。當由於(yu) 特殊情況造成設備係統壓強超過規定值過壓保護裝置即關(guan) 閉氣控閥,停止驅動壓縮氣體(ti) 的輸人，防止繼續增壓出現故障和事故。

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